Calibration of high aspect ratio quality control optical scanning system
Publiceringsår
2013
Upphovspersoner
Karadzhinova, Aneliya; Hilden, Timo; Heino, Jouni; Berdova, Maria; Lauhakangas, Rauno; Garcia, Francisco; Tuominen, Eija; Kassamakov, Ivan
Organisationer och upphovspersoner
Aalto-universitetet
Berdova Maria
Helsingfors universitet
Karadzhinova A.
Tuominen E.
Garcia F.
Kassamakov I.
Heino J.
Lauhakangas R.
Hildén T.
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
DIMENSIONAL OPTICAL METROLOGY AND INSPECTION FOR PRACTICAL APPLICATIONS II
Volym
8839
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Publiceringsland
Förenta staterna (USA)
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1117/12.2024100
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja