Mechanical assessment of suspended ALD thin films by bulge and shaft-loading techniques

Publiceringsår

2014

Upphovspersoner

Berdova, Maria; Ylitalo, Tuomo; Kassamakov, Ivan; Heino, Jouni; Törmä, Pekka; Kilpi, Lauri; Ronkainen, Helena; Koskinen, Jari; Hæggström, Edward; Franssila, Sami

Organisationer och upphovspersoner

Teknologiska forskningscentralen VTT Ab

Ronkainen Helena

Kilpi Lauri

Aalto-universitetet

Koskinen Jari

Berdova Maria

Franssila Sami

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Acta materialia

Volym

Sidor

370-377

ISSN

1359-6454

Publikationsforum

50285

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Materialteknik; Nanoteknologi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1016/j.actamat.2013.11.024