Aluminum oxide from trimethylaluminum and water by atomic layer deposition: The temperature dependence of residual stress, elastic modulus, hardness and adhesion
Publiceringsår
2014
Upphovspersoner
Ylivaara, Oili M.E.; Liu, Xuwen; Kilpi, Lauri; Lyytinen, Jussi; Schneider, Dieter; Laitinen, Mikko; Julin, Jaakko; Ali, Saima; Sintonen, Sakari; Berdova, Maria; Haimi, Eero; Sajavaara, Timo; Ronkainen, Helena; Lipsanen, Harri; Koskinen, Jari; Hannula, Simo Pekka; Puurunen, Riikka L.
Visa merOrganisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Ronkainen Helena 
Kilpi Lauri
Ylivaara Oili M.E.
Puurunen Riikka L.
Aalto-universitetet
Haimi Eero
Lipsanen Harri
Koskinen Jari
Lyytinen Jussi
Berdova Maria
Ylivaara Oili
Puurunen Riikka
Ali Saima
Sintonen Sakari
Hannula Simo-Pekka
Liu Xuwen
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Volym
552
Sidor
124-135
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Parallellagringens licens
CC BY NC ND
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Medicinsk bioteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1016/j.tsf.2013.11.112
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja