Glass Polarization Induced Drift in Microelectromechanical Capacitor
Publiceringsår
2012
Upphovspersoner
Haarahiltunen, Antti; Varpula, Aapo; Leinvuo, Jouni; Siren, Esko; Rytkönen, Vesa-Pekka; Savin, Hele
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Varpula Aapo 
Aalto-universitetet
Savin Hele
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Volym
111
Nummer
10
Artikelnummer
103523
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ja
Öppen tillgång till publikationskanalen
Helt öppen publikationskanal
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Kemi; El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik; Materialteknik; Nanoteknologi; Medicinsk bioteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Ja
DOI
10.1063/1.4720378
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja