Nondestructive static and dynamic MEMS characterization using supercontinuum scanning white light interferometry

Publiceringsår

2012

Upphovspersoner

Heikkinen, V.; Hanhijärvi, K.; Aaltonen, J.; Grigoras, K.; Kassamakov, I.; Franssila, S.; Haeggstrom, E.

Organisationer och upphovspersoner

Aalto-universitetet

Franssila Sami

Helsingfors universitet

Haeggström E.

Kassamakov I.

Aaltonen J.

Hanhijarvi K.

Heikkinen V.

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Konferens

Artikelstyp

Annan artikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A4 Artikel i en konferenspublikation

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Proceedings of SPIE : the International Society for Optical Engineering

Moderpublikationens namn

Reliability, Packaging, Testing, and Characterization of MEMS/MOEMS and Nanodevices XI, San Francisco, CA, 23 January 2012 - 24 January 2012

Volym

825

Sidor

8258

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Nej

Parallellsparad

Nej

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Materialteknik; Nanoteknologi

Nyckelord

[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]

Publiceringsland

Förenta staterna (USA)

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Nej

DOI

10.1117/12.906178