Atomic layer deposition of ruthenium films on strontium titanate
Publiceringsår
2011
Upphovspersoner
Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna Leena; Lu, Jun; Hultman, Lars; Riedel, Stefan; Sundqvist, Jonas; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Volym
11
Nummer
9
Sidor
8378-8382
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ingen information
Parallellsparad
Okänd
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Kemi
Publiceringsland
Förenta staterna (USA)
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Okänd
DOI
10.1166/jnn.2011.5045
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja