New Fabrication Technologies For Microprocess Devices

Publiceringsår

2011

Upphovspersoner

Hirvimäki, Marika; Manninen, Matti; Piili, Heidi; Salminen, Antti

Organisationer och upphovspersoner

Lappeenrannan–Lahden teknillinen yliopisto LUT

Salminen Antti

Piili Heidi

Hirvimäki Marika

Manninen Matti

Publikationstyp

Publikationsform

Separat verk

Målgrupp

Facklig

UKM:s publikationstyp

D4 Publicerad utvecklings- eller forskningsrapport eller -utredning

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Research report/Faculty of Technology, Mechanical Engineering

Förläggare

Laserlaboratorio

Sidor

ISBN

ISBN 978-952-265-200-3

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Okänd

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Maskin- och produktionsteknik

Publiceringsland

Finland

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag