History of atomic layer deposition and its relationship with the American Vacuum Society
Publiceringsår
2013
Upphovspersoner
Parsons, Gregory N.; Elam, Jeffrey W.; George, Steven M.; Haukka, Suvi; Jeon, Hyeongtag; Kessels, W. M. M. (Erwin); Leskelä, Markku; Poodt, Paul; Ritala, Mikko; Rossnagel, Steven M.
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Journal of vacuum science & technology : an official journal of the American Vacuum Society
Volym
31
Nummer
5
Sidor
50818
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ingen information
Parallellsparad
Okänd
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Kemi
Publiceringsland
Förenta staterna (USA)
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Okänd
DOI
10.1116/1.4816548
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja