Precursors as enablers of ALD technology:Contributions from University of Helsinki
Publiceringsår
2013
Upphovspersoner
Hatanpää, Timo Tapio; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal
Moderpublikationens namn
Volym
257
Nummer
23-24
Sidor
3297-3322
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
2
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ingen information
Parallellsparad
Okänd
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Kemi
Publiceringsland
Nederländerna
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Okänd
DOI
10.1016/j.ccr.2013.07.002
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja