undefined

Atomic Layer Deposition of Groups 4 and 5 Transition Metal Oxide Thin Films:Focus on Heteroleptic Precursors

Publiceringsår

2014

Upphovspersoner

Blanquart, Timothee; Niinistö, Jaakko; Ritala, Mikko; Leskelä, Markku

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Niinistö Jaakko

Leskelä Markku

Ritala Mikko

Blanquart Timothee

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Moderpublikationens namn

Chemical Vapor Deposition

Volym

20

Nummer

7-9

Sidor

189-208

Publikationsforum

53322

Publikationsforumsnivå

2

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Okänd

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Kemi

Publiceringsland

Tyskland

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag

Okänd

DOI

10.1002/cvde.201400055

Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling

Ja