Atomic layer deposition of zirconium dioxide from zirconium tetrachloride and ozone

Publiceringsår

2015

Upphovspersoner

Kukli, Kaupo; Kemell, Marianna; Köykkä, Joel; Mizohata, Kenichiro; Vehkamaki, Marko; Ritala, Mikko; Leskela, Markku

Organisationer och upphovspersoner

Helsingfors universitet

Kemell Marianna

Kukli Kaupo

Mizohata Kenichiro

Leskela Markku

Vehkamaki Marko

Ritala Mikko

Publikationstyp

Publikationsform

Artikel

Moderpublikationens typ

Tidning

Artikelstyp

En originalartikel

Målgrupp

Vetenskaplig

Kollegialt utvärderad

UKM:s publikationstyp

A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskrift

Publikationskanalens uppgifter

Journal

Thin Solid Films

Moderpublikationens namn

Thin Solid Films

Volym

589

Sidor

597-604

ISSN

0040-6090

Publikationsforum

68419

Publikationsforumsnivå

Öppen tillgång

Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst

Ingen information

Parallellsparad

Okänd

Övriga uppgifter

Vetenskapsområden

Fysik; Kemi

Publiceringsland

Schweiz

Förlagets internationalitet

Internationell

Språk

engelska

Internationell sampublikation

Nej

Sampublikation med ett företag