Chips24 GENESIS AALTO
Bidragets beskrivning
GENESIS-projektin tavoitteena luoda perusta kestävälle eurooppalaiselle puolijohdevalmistukselle, ja vähentää komponenttiprosessoinnin ympäristövaikutuksia ympäristöystävällisten innovaatioiden avulla. Haitallisia materiaaleja on tarkoitus korvata turvallisemmilla vaihtoehdoilla, jätteenkäsittelyä parantaa, ja harvinaisten alkuaineiden käyttöä ja kierrätystä tehostaa. GENESIS-projektin innovaatiot liittyvät kolmeen avainalueeseen: materiaalit, jätteiden ja päästöjen monitorointi, ja harvinaisten alkuaineiden käyttö. GENESIS-projektissa on neljä teknistä työpakettia ja lisäksi työpaketti projektin ohjaukseen. Modulaarinen lähestymistapa auttaa skaalaamaan ja integroimaan ratkaisuja olemassaoleviin prosesseihin, mikä tukee kierrätettävyyttä puolijohdesektorilla. Aalto-yliopistossa tehtävä kokeellinen ja laskennallinen tutkimus selvittää atomikerroskasvatusprosessien (ALD, atomic layer deposition) kineettisiä reaktioparametreja hyödyntäen hallittuihin 3D-rakenteisiin kasvatettujen ohutkalvojen kyllästysprofiileja. Kineettiset parametrit kartoitetaan ainakin kolmelle prosessille, jotka on valittu yhdessä GENESIS-projektipartnerien kanssa.
Visa merStartår
2025
Slutår
2028
Beviljade finansiering
327 308 €
Finansiär
Innovaatiorahoituskeskus Business Finland
Typ av finansiering
Offentlig forskning i samarbete med näringslivet (m.m. Co-innovation)
Övriga uppgifter
Finansieringsbeslutets nummer
5820/31/2024