Air damping of oscillating MEMS structures: Modeling and comparison with experiment
Publiceringsår
2013
Upphovspersoner
Gorelick, Sergey; Dekker, James R; Leivo, Mikko; Kantojärvi, Uula
Organisationer och upphovspersoner
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Konferens
Artikelstyp
Annan artikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A4 Artikel i en konferenspublikationPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Konferens
COMSOL Conference, Rotterdam
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Ja
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
El-, automations- och telekommunikationsteknik, elektronik
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Identifierade tema
[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja