Nanocutting mechanism of 6H-SiC investigated by scanning electron microscope online observation and stress-assisted and ion implant-assisted approaches
Publiceringsår
2020
Upphovspersoner
Xu, Zongwei; Liu, Lei; He, Zhongdu; Tian, Dongyu; Hartmaier, Alexander; Zhang, Junjie; Luo, Xichun; Rommel, Mathias; Nordlund, Kai; Zhang, Guoxiong; Fang, Fengzhou
Organisationer och upphovspersoner
Helsingfors universitet
Nordlund Kai
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Moderpublikationens namn
Volym
106
Nummer
9-10
Sidor
3869-3880
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Ja
Övriga uppgifter
Vetenskapsområden
Fysik; Nanoteknologi
Nyckelord
[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object],[object Object]
Publiceringsland
Förenade kungariket
Förlagets internationalitet
Internationell
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Ja
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1007/s00170-019-04886-6
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Ja