Characterization of wet chemistry resist and resist residues removal processes
Publiceringsår
1999
Upphovspersoner
Muukkonen, Esa; Häkkinen, Teija; Riihisaari, Tarja; Eränen, Simo; Luusua, Ismo; Kiviranta, Arto; Savolahti, Pekka
Organisationer och upphovspersoner
Teknologiska forskningscentralen VTT Ab
Häkkinen Teija
Publikationstyp
Publikationsform
Artikel
Moderpublikationens typ
Tidning
Artikelstyp
En originalartikel
Målgrupp
VetenskapligKollegialt utvärderad
Kollegialt utvärderadUKM:s publikationstyp
A1 Originalartikel i en vetenskaplig tidskriftPublikationskanalens uppgifter
Journal/Serie
Volym
T79
Sidor
255-258
ISSN
Publikationsforum
Publikationsforumsnivå
1
Öppen tillgång
Öppen tillgänglighet i förläggarens tjänst
Nej
Parallellsparad
Nej
Övriga uppgifter
Identifierade tema
[object Object]
Språk
engelska
Internationell sampublikation
Nej
Sampublikation med ett företag
Nej
DOI
10.1238/Physica.Topical.079a00255
Publikationen ingår i undervisnings- och kulturministeriets datainsamling
Nej